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一个开源的硬件和软件工具包，用于实现基于RHEED引导的薄膜合成

反射高能电子衍射（RHEED）提供了关于薄膜生长过程中表面演变的丰富信息，但非自动化、依赖操作员的对准以及碎片化的分析工作流程限制了其在完全自主合成中的潜力。本文介绍了一种开源硬件

作者:Asraful Haque, Christopher M. Rouleau, Rama K. Vasudevan · 语言:en

简介